【特徴】表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源（ACアダプタ利用可能）です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。【仕様】フルスケール流量：200SCCM対応ガス：N2流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4.3～20mA流量精度：±1％FS（精度保証範囲15～35℃）応答時間：≦2sec制御流量範囲：2～100％FS流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mAバルブタイプ：NC（ノーマルクローズ）再現性：±0.2％FS耐圧力：1MPa外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴムシール部材質：フッ素ゴム標準接続継手：1/4inSWL（相当品）使用保証温度：5～50℃供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上通信方式：デジタル／RS485、アナログ／0～5VDC/4～20mAサイズ：127×38×100mm※ご注文の際は対応ガスコード表にてガスの指定をお願いします。荷姿サイズ：200×140×65 mm 3 kg [荷姿サイズについて]
